据启信宝，新三板立异层公司海纳股份（873995）新增专利信息，专利权人为海纳股份，发明人是张庆旭、吴雄杰、肖春柳、聂早早、王志雄、白超、余天威、徐佳俊、刘伟、代分明。专利授权日为2023年6月23日，专利名称为“一种可等距调理的半导体硅片夹持器”，专利类型为我国实用新型专利，专利申请号为CN1.8。
该专利摘要显现：本实用新型触及半导体硅片出产技术领域，具体地说，触及一种可等距调理的半导体硅片夹持器，包含主体支架，还包含设置于主体支架内部的等距调理组织，包含设置于主体支架顶面的调理螺母、与调理螺母螺纹衔接且延伸到主体支架内的调理螺丝以及衔接于调理螺丝底端的榜首导轨槽，主体支架底端于榜首导轨槽正下方处固定有第二导轨槽，第二导轨槽底部衔接有支撑架；设置于主体支架底部的用于夹取及开释硅片的夹持组织，包含若干等间隔设置于支撑架底端的真空吸笔。本实用新型能够一起夹取和开释多枚硅片，并能在夹取后对硅片间的间隔进行等距调理，期间不需单枚取放硅片，能够极大地添加工作效率，还能够有很大成效防止硅片划伤、擦伤。
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